簡要描述:A9000 FXnano-AD納米大顆粒計(jì)數(shù)器的集聚光束光阻技術(shù)(Focused Light Obscuration)是在傳統(tǒng)單LE光阻傳感器的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了FXnano傳感器。雙傳感器同時(shí)運(yùn)行的情況下,檢測(cè)下限由原來的0.5μm下探至0.15μm,使得該儀器在大顆粒檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
A9000 FXnano-AD納米大顆粒計(jì)數(shù)器
專為納米級(jí)樣品提供粒度計(jì)數(shù)檢測(cè)方案
儀器型號(hào):A9000 FXnano-AD納米大顆粒計(jì)數(shù)器
工作原理:基于光阻法的集聚光束技術(shù)(Focused Light Obscuration&SPOS)
檢測(cè)范圍:0.15 μm – 150 μm
AccuSizer 780 A9000 FXnano-AD自動(dòng)稀釋納米大顆粒計(jì)數(shù)器的集聚光束光阻技術(shù)(Focused Light Obscuration)是在傳統(tǒng)單LE光阻傳感器的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了FXnano傳感器。雙傳感器同時(shí)運(yùn)行的情況下,檢測(cè)下限由原來的0.5μm下探至0.15μm,使得該儀器在大顆粒檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。
FX系列傳感器,采用集聚光束技術(shù),通過探測(cè)區(qū)域性的粒徑分布和濃度,計(jì)算出整體的濃度。雙檢測(cè)器搭配,可真實(shí)的對(duì)粒子樣本進(jìn)行粒徑測(cè)試并計(jì)數(shù),樣品濃度可達(dá)到10E12#/ml,粒徑檢測(cè)范圍0.15 μm – 150 μm。
試驗(yàn)顯示FXnano-AD在測(cè)量蛋白質(zhì)聚集(Protein Aggregation)及化學(xué)研磨液分布(CMP Slurry)上對(duì)粒徑的檢測(cè)要比傳統(tǒng)的激光衍射法其靈敏度要高1,500到25,000倍,且避免了人工稀釋帶來的誤差,給用戶提供了方便。此款儀器可以應(yīng)用在半導(dǎo)體、藥物蛋白等行業(yè),超低的測(cè)試粒徑下限及較高的測(cè)試濃度上限可滿足客戶的檢測(cè)需求。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、粒徑檢查范圍廣,0.15μm-150μm;
2、濃度測(cè)試上限高,10E12#/ml;
3、高分辨率,高靈敏性,統(tǒng)計(jì)精度高;
粒子靈敏度 ≤10PPT
粒徑度 ≥98%
粒子計(jì)數(shù)度 ≥90%
4、可自定義32個(gè)用戶自定義檢測(cè)通道;
5、同時(shí)搭載FXnano及LE雙傳感器檢測(cè);
6、LE傳感器濃度上限可達(dá)10E4#/ml,F(xiàn)Xnano傳感器濃度上限為10E6#/ml;
7、集自動(dòng)稀釋、自動(dòng)檢測(cè)、數(shù)據(jù)處理以及自動(dòng)清洗等自動(dòng)化功能與一身;
8、數(shù)據(jù)結(jié)果以多種形式和格式呈現(xiàn);
9、模塊化設(shè)計(jì),便于升級(jí)及維護(hù);
高度
AccuSizer 780 A9000 FXnano-AD自動(dòng)稀釋納米大顆粒計(jì)數(shù)器擁有高度,能測(cè)量樣品的粒徑分布和顆粒濃度,在比較樣品的過濾效率、影響因素等方面起到巨大的作用。
高分辨率
高通道的優(yōu)勢(shì)換來的是高分辨率的優(yōu)勢(shì)。所謂分辨率,在這里指的是分辨同一體系內(nèi)不同粒徑大小的能力。得益于超前的設(shè)計(jì)理念和軟硬件組合,AccuSizer 780系列儀器除了能夠呈現(xiàn)不同于經(jīng)典光散射的顆粒計(jì)數(shù)分布外,相對(duì)于經(jīng)典的電阻法和光阻法,具有更高的分辨率和性。它不會(huì)錯(cuò)過任何“尾部" 大顆粒,而這些“尾部"大顆粒往往是決定產(chǎn)品好壞的標(biāo)準(zhǔn)。
圖2 AccuSizer 780 高分辨率展示
如圖2所示,同一個(gè)樣本中混合0.7μm,0.8μm,1.3μm,2μm,5μm,10μm,15μm,20μm,50μm,100μm,200μm 11種標(biāo)準(zhǔn)PSL粒子,AccuSizer 780可以很容易將每種不同大小的標(biāo)粒區(qū)分清楚。
圖3 SPOS VS Laser diffraction
圖3展示了同一個(gè)樣本在SPOS技術(shù)和激光衍射法(Laser diffraction,LD)粒度儀中測(cè)得的結(jié)果。樣本使用的是過400目篩(37μm)的樣本。SPOS技術(shù)(綠色線)顯示在35μm以上是沒有粒子的,這和實(shí)際情況相符。但是使用LD檢測(cè)得到的僅僅是“相似"的分布,但是在100μm本來沒有顆粒的情況下卻給出了還有大顆粒的假性結(jié)果。